基本情報

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小野 俊郎

ONO TOSHIRO


職名

教授

ホームページ

http://mech.hirosaki-u.ac.jp

取得学位 【 表示 / 非表示

  • 工学博士

所属学会・委員会 【 表示 / 非表示

  • 精密工学会

  • 電子情報通信学会

  • 応用物理学会

  • 米国電気化学会

  • 米国真空学会

専門分野(科研費分類) 【 表示 / 非表示

  • ナノマイクロシステム

  • 薄膜・表面界面物性

  • 知能機械学・機械システム

自己PR 【 表示 / 非表示

  • (連携キーワード)

    薄膜は機能改善、装飾など生活で使うほとんどすべてのものに活用されています。なじみの深い製品を例に製品の機能向上の歴史と生活レベルの向上について解説します。また、微細構造を用いた医用システムについても開設します。

    (研究概要)

    薄膜ナノテクノロジー、ユビキタスMEMS、プラズマ応用加工、微細構造医用システム

    (協力できる内容)

    薄膜技術の講演(入門~最先端技術)。薄膜プロセスのコンサルタント(生産、研究開発)。

    (PR)

    保有技術は電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマ技術、マイクロ加工技術です。薄膜プロセス全般でお困りの方は気軽にご相談ください。また、微細構造を用いた医用システムについても現状の技術開発についてご相談ください。

 

論文 【 表示 / 非表示

  • 英語,Using electron cyclotron resonance sputtering in the deposition of ultrathin Al2O3 gate dielectrics,J. Vac. Sci. Technol.,B21巻 3号 (頁 942 ~ 948) ,2003年06月,Y. Jin, K. Saito, M. Shimada and T. Ono

    研究論文(学術雑誌),共著,電子・電気材料工学

  • 英語,Real-time etching monitor using argon quadrupole mass spectrometry for 100 nm class WSiN gate fabrication,J. Vac. Sci. Technol. ,A21巻 5号 (頁 1589 ~ 1594) ,2003年10月,Y. Jin, C. Takahashi and T. Ono

    研究論文(学術雑誌),共著,電子・電気材料工学

  • 英語,Tantalum film for x-ray mask deposited by electron cyclotron resonance plasma source coupled with divided microwaves,J. Vac. Sci. Technol.,B22巻 1号 (頁 40 ~ 45) ,2004年01月,H. Nishimura, T. Ono, M. Oda, S. Matsuo

    研究論文(学術雑誌),共著,電子・電気材料工学

  • 英語,Low-Temperature Silicon Oxidation with Very Small Activation Energy and High-Quality Interface by Electron Cyclotron Resonance Plasma Stream Irradiation,Jpn. J. Appl. Phys.,43巻 6B号 (頁 L765 ~ L767) ,2004年06月,K. Saito, Y. Jin, T. Ono and M. Shimada

    研究論文(学術雑誌),共著,電子・電気材料工学

  • 英語,Electron-cyclotron-resonance sputtering apparatus for multilayered optical bandpass filters applicable to wavelength division multiplexing,J. Vac. Sci. Technol.,A22巻 6号 (頁 2431 ~ 2436) ,2004年06月,Y. Jin, M. Shimada and T. Ono

    研究論文(学術雑誌),共著,電子・電気材料工学

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著書 【 表示 / 非表示

  • 日本語,わかる機械要素設計,日刊工業新聞社,2008年09月,吉川晃,小野俊郎,足立勝重,小川恒一

    単行本(学術書),共著

学術関係受賞 【 表示 / 非表示

  • 精密工学会秋季大会学術講演会ベストプレゼンテーション賞,2008年09月17日

  • 精密工学会東北支部学術講演会優秀講演奨励賞,2010年11月27日

  • 精密工学会東北支部学術講演会優秀研究奨励賞,2015年03月

 

担当授業科目 【 表示 / 非表示

  • 2016年度,物理学の基礎Ⅱ(B),21世紀教育科目

  • 2016年度,物理学の基礎Ⅱ(E),21世紀教育科目

  • 2016年度,卒業研究,専門教育科目(学部)

  • 2016年度,材料力学演習,専門教育科目(学部)

  • 2016年度,機械技術基礎,専門教育科目(学部)

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学外の社会活動(高大・地域連携等) 【 表示 / 非表示

  • 弘前大学と八戸高専とのシーズ提案会,2007年10月 ~ 2008年01月

  • SSH運営指導委員,2010年04月 ~ 2014年03月