論文 - 笹川 和彦
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バンブー配線の二次元形状がエレクトロマイグレーション損傷のしきい電流に及ぼす影響
笹川和彦,宇野茂雄,山路 尚,坂 真澄
日本機械学会 2005年次大会 講演論文集,(VI), No.05-1, 東京/電気通信大学(2005-9/19-22), 287-288 2005年09月
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Effect of Line-Shape on Threshold Current Density of Electromigration Damage in Bamboo Lines
K. Sasagawa, S. Uno, N. Yamaji and M. Saka
Proceedings of IPACK2005(CD-ROM), The ASME/Pacific Rim Technical Conference and Exhibition on Integration and Packaging of MEMS, NEMS, and Electronic Systems, ASME, July 17-22, 2005, San Francisco, California, USA, Paper ID IPACK2005-73133 2005年07月
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バンブー配線における配線二次元形状がエレクトロマイグレーション損傷しきい電流密度に及ぼす影響
笹川和彦,宇野茂雄,山路 尚,坂 真澄
応用物理学会薄膜・表面物理分科会第11回LSI配線における原子輸送・応力問題研究会講演論文集,東京/東京工業大学(2005-7/14-15), 40-41 2005年07月
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障害者スキー滑降時のシート‐臀部間の接触圧力分布測定
笹川和彦,矢島久幸
計測自動制御学会 東北支部第222回研究集会 講演資料,弘前/弘前大学(2005-6/29),資料番号222-4 2005年06月
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生体小関節のための接触圧力分布測定システムの開発
笹川和彦,成田純平
計測自動制御学会 東北支部第222回研究集会 講演資料,弘前/弘前大学(2005-6/29),資料番号222-7 2005年06月
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Derivation of Film Characteristic Constants by Using Governing Parameter for Electromigration Damage in Passivated Bamboo Line
M. Hasegawa, K. Sasagawa and M. Saka
Proceedings of 11th International Conference on Fracture (CD-ROM), March 20-25, 2005, Turin, Italy, Paper ID 3699 2005年03月
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チェアスキーにおけるシート‐臀部間の接触圧力分布の測定
矢島久幸, 笹川和彦
日本機械学会 東北学生会 第35回卒業研究発表講演会 講演論文集,名取/宮城工業高等専門学校(2005-3/5), 1-2 2005年03月
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二次元形状を有する多結晶配線のエレクトロマイグレーション損傷しきい電流密度に関する研究
山路 尚,笹川和彦,宇野茂雄,坂 真澄
日本機械学会東北学生会 第35回卒業研究発表講演会 講演論文集,名取/宮城工業高等専門学校(2005-3/5), 11-12 2005年03月
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ドリフト速度計測によるバンブー金属配線の物性定数の導出
長谷川昌孝,笹川和彦,宇野茂雄
日本機械学会第17回計算力学講演会講演論文集, No. 04-40, 仙台/仙台市民会館(2004-11/18-20),805 - 806 2004年11月
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Derivation of Film Characteristic Constants of Polycrystalline Line for Reliability Evaluation against Electromigration Failure
M. Hasegawa, K. Sasagawa, S. Uno, M. Saka and H. Ab?
2004 ASME International Mechanical Engineering Congress & Exposition, ASME, Nov. 13-19, 2004, Anaheim, USA, paper ID IMECE2002-60620 2004年11月
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LSI配線のエレクトロマイグレーション特性に関する物性定数の導出としきい電流密度の評価
笹川和彦,長谷川昌孝,宇野茂雄,坂 真澄
日本材料学会第2回マイクロマテリアルシンポジウム講演論文集,東京/東工大(2004-9/27-28), 80-83 2004年09月
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エレクトロマイグレーション前後におけるアルミバルク材の熱電能の検討
笹川和彦, 佐藤 匠, 坂 真澄
日本機械学会東北支部第10期秋季講演会講演論文集,No. 041-2,秋田/秋田県立大学(2004-9/17), 29-30 2004年09月
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配線端のドリフト速度計測による配線物性定数の導出法
長谷川昌孝,笹川和彦,宇野茂雄,坂 真澄
日本機械学会2004年度年次大会講演論文集, (I), No.04-1,札幌/北海道大学(2004-9/5-9), 403-404 2004年09月
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ドリフト速度計測によるAl多結晶配線の物性定数の導出としきい電流密度の評価
長谷川昌孝,笹川和彦,宇野茂雄、坂 真澄
応用物理学会薄膜・表面物理分科会第10回LSI配線における原子輸送および応力問題研究会講演論文集,東京/東京工業大学(2004-7/15-16), 38-39 2004年07月
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Derivation of the Film Characteristic Constants Using the Governing Parameter for Electromigration Damage at Metal Line Ends
M. Hasegawa, K. Sasagawa, S. Uno and M. Saka
Proc. of ISMME2003, The International Symposium on Micro-Mechanical Engineering―Heat Transfer, Fluid Dynamics, Reliability and Mechatronics―, JSME, Tsuchiura, Japan, December 1-3, 2003, (2003-12-1), 433 - 439 2003年12月
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配線端部におけるエレクトロマイグレーション損傷支配パラメータを用いた配線物性値の導出
長谷川昌孝,笹川和彦,渡邊祥達,宇野茂雄,坂 真澄
日本機械学会第16回計算力学講演会講演論文集, No. 03-26, 神戸/神戸大学(2003-11/22-24),665 - 666 2003年11月
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配線端部のドリフト速度計測に基づいた金属薄膜配線物性値の導出
長谷川昌孝,笹川和彦,宇野茂雄,坂 真澄
日本金属学会第2回東北支部大会講演論文集, , 弘前/弘前大学(2003-11/15),10-11 2003年11月
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Evaluation Method of the Threshold Current Density for Electromigration Damage in IC Metal Lines
M. Hasegawa, K. Sasagawa and M. Saka
The Second Japan-Taiwan Workshop on Mechanical and Aerospace Engineering, Tokyo Institute of Technology & Tohoku University (2003-10/17-20, Tokyo), 129 - 137 2003年10月
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保護膜厚さを考慮した集積回路配線の断線故障予測法
笹川和彦,長谷川昌孝, 吉田直樹,坂 真澄
日本材料学会第11回破壊力学シンポジウム講演論文集,大津/KKRびわこ(2003-10/2-3),127 - 132 2003年10月
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保護膜の厚さを考慮した保護膜被覆多結晶配線の断線故障予測
笹川和彦,長谷川昌孝,坂 真澄
M&M2003日本機械学会材料力学部門講演会講演論文集, No.03-11, 富山/富山大学(2003-9/24-26),609 - 610 2003年09月